美国Tuthill真空泵的主要应用领域

1.在多晶硅太阳能电池行业的应用

多晶硅：多晶硅铸锭炉要求炉内的极限压力亦必须抽到1 Pa以下，美国GT Solar公司配置的真空机组是KMBD540罗茨泵加上KT-150单级滑阀泵，机组的极限压力可达1ｘ10-2Pa。由于多晶硅生产厂都是将几十台甚至于上百台炉子集中在一个封闭的空调厂房内，所以对真空机组的振动和噪声要求极为限严格，而且要求真空

机组在连续60小时下运行无故障。

由于KMBD540＋KT150罗茨滑阀机组体积小、重量

轻、噪声低、无振动、可靠性好，所以现在国内

外所有多晶硅铸锭炉基本上都是采用Tuthill公司

生产的罗茨滑阀机组。

2、在化工行业的应用

化工项目：如PTMEG(主要用于生产聚氨脂弹性体、氨纶和酯醚共聚弹性体)、ABS(高性能工程塑科)、PS(聚苯乙烯是热塑性合成树脂之一)等原材料生产，油脂化工的真空脱水、脱臭。在这一类化工行业应用中，极限真空度在10-1Pa左右，大都亦是由罗茨泵和液环泵组成中真空机组。

由于被抽气体都是一些具有腐蚀性、毒性以及易燃、易爆的工艺介质，所以要求真空机组必须是耐腐蚀、耐可凝性蒸汽，而且还要求防爆和无任何洩漏。

3、在制药行业溶媒回收中的应用

被抽气体都是腐蚀性气体、易挥发的蒸汽以及某些容易聚集的工艺气体，由于螺杆泵泵腔内无任何工作介质，内部表面均采取防腐措施，既节能又环保，无废液处理问题，而且溶媒还可以回收，所以螺杆真空泵己成为这一应用领域的选择。

4、在石油行业汽油蒸汽回收装置中的应用

真空技术在石化行业中另一个重要应用就是汽油蒸汽回收装置，其工艺要求是在短时间内

将罐内压力从大气抽到30 mbar，所抽气体为容易挥发的汽油蒸汽，所采用的真空泵均为变

螺距的干式螺杆泵。现场要求防爆，通常要求泵的运行温度不能超过800C。

5、在空间模拟方面的应用

运载火箭、人造卫星、載人飞船、空间站、宇宙探测器以及航天飞机等都必须在地面上建立模拟空间环境的宇宙空间模拟实驗装置，以便掌握航天器在空间工作的条件和特性，消除飞行中的各种隐患，才能確保飞行器及航天员的安全。由于空间模拟装置其被抽容积是从几千立方米到几万立方米，压力变化从几万Pa到几个Pa甚至于低于1Pa，而且被抽气体中含有大量水蒸汽或部分氮氧化物。

由于螺杆真空泵清洁、无油、耐腐蚀、振动小、噪声低、抽速大己成为当前大型空间模拟真空系统的首选泵种，另外为了提高真空机组的抽速和极限真空，一般都是采用罗茨泵与螺杆泵组成的真空机组。