Parker派克汉尼汾在半导体行业的产品和方案

从智能手机到产业机器人，再到超级计算机，随着应用范围不断增加，半导体行业在蓬勃发展的同时，其制程工艺也不断快速提升。然而，无论工艺如何改进，都离不开盐酸、氢氧化钠溶液、过氧化氢溶液，以及乙醇，丙酮等各类高纯度化学品的使用。

这些高纯度化学品具有强酸、强腐蚀性等特性，在其输送系统原材料的选择上，必须慎之又慎。PFA和PTFE因拥有出色的物化性能而进入人们的视野，它们具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂、耐腐蚀等特点，被视为半导体制程中化学品输送系统的理想材料。

半导体的CMP工艺中，Slurry输送系统的部件就可选用PFA材质。CMP又称化学机械抛光，它能精确并均匀地把硅片抛光为需要的厚度和平坦度，其中，Slurry供应系统与之关系密切。

作为一种特殊的化学研磨液，Slurry是由二氧化硅等微小颗粒悬浮在液体中形成的悬浮液，其供应系统将持续为CMP提供制程所需的化学研磨液，一旦系统出现异常，会对CMP制程造成严重损失。

Slurry输送系统对阀门的选用要求严格。比市场上同类产品相比，派克汉尼汾旗下的 22系列PFA膜阀，能更好地符合用户需求。

双密封点

Slurry有易结晶的特性，一旦在阀座密封处形成结晶，就会影响阀门的关闭功能，造成泄漏故障。因此，22系列膜阀采用膜片密封形状设计，形成双密封点，能有效控制这类故障。在阀门关闭时的应力测试图中，可以观察到双密封点，如果其中一处密封点失效，另一处密封点还将继续工作，从而提高阀门的工作寿命。

第三方的测试数据也很好地证明了这一点：在输送盐酸和硫酸时，工作寿命超过210万次；输送纯水时，超过300万次；输送Slurry时，双密封点的效果明显，在系统无故障的条件下，工作寿命超过210万次。

滑梯状流道

目前市场上应用于Slurry阀门多数采用内部无死角的自排放结构，使阀门在不使用时能够排空。22系列膜阀采用滑梯状流道设计，一定程度上减少了流体在阀门内部的停留时间，同时减小流体对阀体不同部位的应力差，从而有效延长阀体的寿命。

派克汉尼汾旗下的22系列PFA膜阀设计巧妙，质量卓越，能够符合半导体制程中化学品、尤其是Slurry输送的不同要求，更少的故障以及更长的产品寿命将为客户带来更多的价值。

派克汉尼汾将携22系列PFA膜阀等相关产品亮相，向我们的工作人员咨询更多相关信息！

Parker超高纯度含氟聚合物PFA膜阀 - 22系列
PFA Valves Ultra High Purity Fluoropolymer (PFA) Valves - 22 Series

UHP含氟聚合物超净阀，其材质为PFA含氟聚合物或PTFE聚四氟乙烯，适用于半导体液体环境应用，包括高浓度的酸和碱，明确的化学物质和浆料。UHP Fluoropolymer ultra clean valves are made from PFA and PTFE for semiconductor liquid applications including high concentration acids and bases, clear chemistries and slurries.

这些新型的、超清洁的、材质为含氟聚合物的手动和气动阀门大大提高了流量，并提供更好的增强型阀座密封，增强无泄漏性能，提供了安全性。它们旨在以小的体积提供最高的流量。采用计算流体动力学软件来通过这些阀门的流量。这些超净化阀适用于半导体液体应用，包括高浓度酸和碱，明确的其他化学物质和浆液。因其清洁度和拥有高度的耐化学腐蚀性能，对于其他严苛的市场应用，也可以使用这些阀门。These new, ultra clean, fluoropolymer, manual and pneumatic valves offer increased flow and provide better seat sealing for enhanced, leak-free performance for greater safety. They are designed to deliver the highest flow in the smallest package available. Computational fluid dynamics software was utilized to maximize the flow through these valves. These ultra clean valves are for semiconductor liquid applications including high concentration acids and bases, clear chemistries and slurries. Other demanding markets can use these valves for their cleanliness and ability to carry highly corrosive chemicals.

Parker超高纯度含氟聚合物PFA膜阀 - 22系列Ultra High Purity Fluoropolymer Valves
PFA Valves Ultra High Purity Fluoropolymer (PFA) Valves - 22 Series

市场Markets：

- 半导体加工 Semiconductor processing
- 化学品加工 Chemical Processing
- 分析设备 Analytical Equipment
- 实验室 Laboratory

特点与优势Features/Benefits：

- 耐酸和浆料，循环使用寿命长 High cycle life in acids and slurry
- 简洁的标识，真正的上锁挂牌设计（LOTO） Compact footprint with a true lock-out, tag-out design (LOTO)
- 双点密封提供双倍的密封效能（专利申请中） Dual point seal provides double the sealing power (patent pending)
- 平滑的钻孔和完全可清扫的流道，大限度地减小颗粒捕获区域并防止截留区的形成 Smooth bore and fully swept path, minimizes particle entrapment areas and prevents stagnation
- 100％泄漏测试 100% leak tested
- 符合SEMI-F57-0301标准 Meets SEMI-F57-0301 Standards

关键应用Key Applications：

- 化学机械抛光（CMP）浆料 Chemical Mechanical Polishing (CMP) Slurries
- 超高纯度工艺 Ultra high purity processes
- 明确的半导体工艺化学物质 Clear chemistries for semiconductor processes
- 搅拌机系统 Blender systems
- 清洁系统 Cleaning systems

性能特点

阀体材料 PFA
隔膜材料 改性聚四氟乙烯（PTFE）
壳体材料 聚偏氟乙烯（PVDF)
弹簧材料 不锈钢，含氟聚合物涂层
螺钉材料 SS
最大压力（PSIG) 80 psig
驱动压力 60 至100 psig
温度系数(F) 32°至212°F
温度范围（C) 0°至100°C
证明压力 120 psig
爆破压力 200 psig
流体容量 0.33, 0.82, 2.3, 4.3

LITERATURE AND REFERENCE MATERIALS
产品技术资料下载：

22 Series PFA Valves Half Inch
22 Series PFA Valves Quarter Inch

Parker Compression A-Lok Tube Fittings
Parker Pipe & Pipe Fittings
Parker PFA Tube Flare Fittings
Parker PTFE Tube Grip Fitting
Parker/Jaco Polyproylene Tube Fitting
Parker Pneumatic One Touch Fitting
Parker Ball Valves/Metering Valve
Parker PFA/PTFE Valves/PTFE Ball
Parker PFA Relief Valve/Check Valves
Parker high purity diaphragm valves
Parker Ultra High Purity Regulators
Parker Instrumen

- Parker派克PFA扩口接头、PFA卡套接头、PFA阀门、PFA针阀、PFA单向阀、PFA三通阀、PFA纯水枪、PFA氮气枪、PTFE热扩工具

超高纯度含氟聚合物（PFA）阀 - 22系列 UHP 含氟聚合物超净阀，其材质为PFA(含氟聚合物)或PTFE（聚四氟乙烯），适用于半导体液体环境应用，包括高浓度的酸和碱，明确的化学物质和浆料。	UHP PFA手动隔膜（1/4英寸）三通阀 - MV-10系列 MV-10 PFA三通隔膜阀用于高纯半导体行业。也是超纯水和腐蚀性化学品或气体应用的理想选择。
UHP超高纯 PFA 手动隔膜(1/2") 3通阀 – MV-11 系列 MV-11 系列 PFA阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它有3通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体和气体处理应用(压力可达100 psig)。	UHP 超高纯 PFA手动隔膜阀 (1 ') 2 通阀 – MV-12 系列 MV-12 系列 PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它非常适合用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体和气体处理 应用。有2通型
UHP 超高纯 PFA 手动隔膜 (3/4") 2 通阀 – MV-16系列 MV-16 系列 PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它有2通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体和气体处理 应用。	UHP 超高纯 PFA手动隔膜 (3/4") 3 通阀 – MV-16系列UHP超高纯 PFA 手动隔膜 (3/4") 3通阀 – MV-16系列 MV-16 系列PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它有3通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体和气体处理 应用。
UHP 超高纯 PFA 气动隔膜 (1/4") 3 通阀 – PV-10系列 PV-10 系列PFA阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它有2通或3通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体应用。 (压力可达80 psig).	UHP 超高纯 PFA气动隔膜(1/2 ") 3 通阀 – PV-11系列 PV-11 系列 PFA阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。有2通和3通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体应用
UHP 超高纯 PFA手动针阀 (尺寸最大 1/2 ") – MV-13 系列 MV-13 系列 PFA手动针阀提供优秀的泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它带有PTFE卡套，旨在为超高纯和腐蚀性流体处理应用提供精确的流量控制 。	UHP 超纯PFA气动隔膜（1“）2通阀 – PV-12系列 PV-12 系列 PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。非常适合用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体应用。有2通和3通型
UHP 超高纯 PFA气动隔膜(3/4 ") 2 通阀 – PV-16系列 PV-16 系列 PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。有2通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性液体和气体应用	UHP 超高纯 PFA气动隔膜(3/4 ") 3 通阀 – PV-16系列 PV-16 系列 PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。有3通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性液体和气体应用
PFA氮气枪 - SG-1 系列 PFA 氮气枪适用于高纯半导体应用。该设计使用了具有精密加工密封区域的高纯 PFA 模塑成型的枪体。

Partek PFA_PTFE Valves Catalog 4182 USA

超高纯度含氟聚合物（PFA）阀 - 22系列

超高纯度含氟聚合物（PFA）阀 - 22系列
UHP 含氟聚合物超净阀，其材质为PFA(含氟聚合物)或PTFE（聚四氟乙烯），适用于半导体液体环境应用，包括高浓度的酸和碱，明确的化学物质和浆料。

UHP PFA手动隔膜（1/4英寸）三通阀 - MV-10系列

UHP PFA手动隔膜（1/4英寸）三通阀 - MV-10系列
MV-10 PFA三通隔膜阀用于高纯半导体行业。也是超纯水和腐蚀性化学品或气体应用的理想选择。

UHP超高纯 PFA 手动隔膜(1/2

UHP超高纯 PFA 手动隔膜(1/2") 3通阀 – MV-11 系列
MV-11 系列 PFA阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它有3通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体和气体处理应用(压力可达100 psig)。

UHP 超高纯 PFA手动隔膜阀 (1 ') 2 通阀 – MV-12 系列

UHP 超高纯 PFA手动隔膜阀 (1 ') 2 通阀 – MV-12 系列
MV-12 系列 PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它非常适合用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体和气体处理 应用。有2通型

UHP 超高纯 PFA 手动隔膜 (3/4

UHP 超高纯 PFA 手动隔膜 (3/4") 2 通阀 – MV-16系列
MV-16 系列 PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它有2通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体和气体处理 应用。

UHP 超高纯 PFA手动隔膜 (3/4

UHP 超高纯 PFA手动隔膜 (3/4") 3 通阀 – MV-16系列UHP超高纯 PFA 手动隔膜 (3/4") 3通阀 – MV-16系列
MV-16 系列PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它有3通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体和气体处理 应用。

UHP 超高纯 PFA 气动隔膜 (1/4

UHP 超高纯 PFA 气动隔膜 (1/4") 3 通阀 – PV-10系列
PV-10 系列PFA阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它有2通或3通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体应用。 (压力可达80 psig).

UHP 超高纯 PFA气动隔膜(1/2

UHP 超高纯 PFA气动隔膜(1/2 ") 3 通阀 – PV-11系列
PV-11 系列 PFA阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。有2通和3通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体应用

UHP 超高纯 PFA手动针阀 (尺寸最大 1/2

UHP 超高纯 PFA手动针阀 (尺寸最大 1/2 ") – MV-13 系列
MV-13 系列 PFA手动针阀提供优秀的泄露完整性和优异的耐腐蚀性。它带有PTFE卡套，旨在为超高纯和腐蚀性流体处理应用提供精确的流量控制 。

UHP 超纯PFA气动隔膜（1“）2通阀 – PV-12系列

UHP 超纯PFA气动隔膜（1“）2通阀 – PV-12系列
PV-12 系列 PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。非常适合用于超高纯(UHP)和腐蚀性流体应用。有2通和3通型

UHP 超高纯 PFA气动隔膜(3/4
UHP 超高纯 PFA气动隔膜(3/4 ") 2 通阀 – PV-16系列
PV-16 系列 PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。有2通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性液体和气体应用

UHP 超高纯 PFA气动隔膜(3/4

UHP 超高纯 PFA气动隔膜(3/4 ") 3 通阀 – PV-16系列
PV-16 系列 PFA隔膜阀提供高泄露完整性和优异的耐腐蚀性。有3通型，用于超高纯(UHP)和腐蚀性液体和气体应用

PFA氮气枪 - SG-1 系列

PFA氮气枪 - SG-1 系列
PFA 氮气枪适用于高纯半导体应用。该设计使用了具有精密加工密封区域的高纯 PFA 模塑成型的枪体。

Partek PFA / PTFE Parflare接头

Partek含氟聚合物(PFA / PTFE)产品应用于压力低于120psig (8.27barg)，温度不超过400F(204℃)的任何超高纯或腐蚀性化学品的理想选择。 含氟聚合物阀门及接头具有很好的耐腐蚀性，并可确保介质/系 统的洁净度。所有产品的接触介质表面均为耐腐蚀PFA或PTFE材质。Partek产品可提供的尺寸范围从1/8”至1”。连接方式:扩口式连接、卡套式连接、螺纹式连接、焊接式。

Parflare扩口接头:可用于侧向负载和振动工况，内腔残余容积小，减少粒子滞留和细菌增长。

Pargrip PFA卡套接头:适用于要求安装简便的场合，组装无需特殊工具，软管无需预先开槽。

Parbond PFA熔接接头:为永久式焊接连接，避免螺纹连接和消除滞留区域，是无泄漏的连接方式，适合大流量、低压降应用。

PFA螺纹管接头:可提供多种形式的标准NPT螺纹接头，安装时使用PTFE生胶带。

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MV-1球阀、MV-6球阀、MV-8取样阀、MV-10球阀、MV-11球阀、MV-12球阀、MV-13球阀、MV-14球阀、MV-16球阀、PV-1、PV-10、PV-11、PV-12、PV-16、CV-1单向阀、RV-1安全阀、SV-2电磁阀、PR-1调压阀、PR-3调压阀、BR-1背压阀、BR-3背压阀、FM-3流量计、FM-4流量计、PP-20气动隔膜泵PP Pneumatic Bellows Pump、GP Gauge Protector、GP-130、GP-131、GP-530、GP-531、GP-630、GP-631、GPIL-6644、SG-1 DI Water Spray Gun、PFA水枪、SG-1-01、SG-1 Nitrogen Gun、SG-1氮、SG-1-03、VV Venturi/Vacuum Generator、PFA真空发生器、VV-041020204、VV-046040606、NW-04-U、NW-06-U、NW-08-U、NW-12-U、NW-16-U、MFT-U、MFT-U、MFT-4、MFT-6、MFT-8、MFT-10、MFT-12、MFT-16、MFT-20、FG-1-4 C、FG-1-6 C、FG-1-8 C、FG-1-12 C、FG-1-16 C、FG-1K-2、FG-1K-3、FG-1K-4、FG-1K-5。

Parker派克Partek含*聚合物(PFA/PTFE)产品，应用于压力低于120psig(8.27barg)，温度不超过400F(204℃)的任何超高纯或腐蚀性化学品的理想选择。 Parker派克含*聚合物(PFA/PTFE)阀门/接头，具有很好的耐腐蚀性，并可确保介质/系 统的洁净度。所有产品的接触介质表面均为耐腐蚀PFA或PTFE材质。Partek产品可提供的尺寸范围从1/8”至1”。

Parker派克Parflare PFA/PTFE扩口接头:可用于侧向负载和振动工况，内腔残余容积小，减少粒子滞留和细菌增长。Parker派克Pargrip PFA/PTFE卡套接头:适用于要求安装简便的场合，组装无需特殊工具，软管无需预先开槽。Parker派克Parbond PFA/PTFE熔接接头:为**式焊接连接，避免螺纹连接和消除滞留区域，是无泄漏的连接方式，适合大流量、低压降应用。Parker派克PFA/PTFE螺纹管接头:可提供多种形式的标准NPT螺纹接头，安装时使用PTFE生胶带。Parker派克PFA/PTFE阀门, Parker派克PFA/PTFE压力表保护器, Parker派克PFA/PTFE热电偶接头和Parker派克PFA/PTFE喷枪:高循环使用寿命,全部由含*聚合物制造，已得到多年 成功应用。Parker派克PTFE阀门, Parker派克PFA/PTFE减压阀, Parker派克PFA/PTFE流量计:接触介质的区域全部由含*聚合物PFA/PTFE制造，抗腐蚀性卓越，使用寿命长。

应用行业: 半导体、太阳能、液晶面板制造等行业，或者其他一些有超高纯流体要求的行业
应用流体：盐酸、硝酸、双氧水以及其他一些有超高纯、防腐蚀要求的化学品流体， 接头身体部分材质为高纯PFA,与介质接触到的部分全部为PFA材质
螺母的标准材质为PVDF,根据客户的要求,也可以提供PFA材质的螺母,有超高温要求的,需另外选配螺母， 简单的设计、简易的安装,用热风枪工具和扩口器即可完成安装,最大程度地减少您的安装时间和成本