SEMICON China 2020，派克汉尼汾等您来赴约！

6月27日至6月29日，上海新国际博览中心将迎来国内半导体的行业盛会SEMICON China 2020。届时，1000多家国内外半导体知名企业齐聚一堂，共同展示最新产品与技术，探讨行业发展新机遇。

这场一年一度的半导体盛宴，有很多不可错过的精彩，其中就包括位于 E6715的派克汉尼汾展台！下面，一起来看看展台都有哪些明星产品吧！

FR1000单级减压阀

派克FR1000单级减压阀专业应用于半导体行业晶圆制程中所需要的各种特种气、液体的输送和控制系统，同时也广泛应用于石油化工、分析及实验室等领域。

派克UHP系列产品

是根据超高纯系统连接的要求设计出的无泄漏接头。所有电抛光UltraSeal?和VacuSeal? 元件在100 级洁净室环境下符合Federal Standard 209E “OMEGA”标准的清洁和包装。

UHP 面密封接头

派克UHP系列产品是根据超高纯系统连接的要求设计出的无泄漏接头。所有电抛光UltraSeal?和VacuSeal? 元件在100 级洁净室环境下符合Federal Standard 209E “OMEGA”标准的清洁和包装。

ASV/ASC 节能阀

派克内置脉冲开关技术的节能阀用于吹扫、除尘去静电等场合，将节约最高50%的耗气量；大量降低工厂压缩空气消耗，降低工厂运营成本，降低工厂CO2排放，为节能做贡献。


派克200KL快换接头

碳钢或不锈钢材质，平齐端面阀芯，无溢流，通径4mm，6mm，9mm。用于水冷系统快换连接或断开，人体工程学设计，单手操作，简单快捷。

RIPPED 系列有铁芯直线电机

派克RIPPED有铁芯直线电机采用专利防齿槽效应技术，满足大推力需求，同时保证了速度一定的平滑性。产品提供了R5\R7\R10\R16四组规格，覆盖持续推力从40N到2230N。

密封系列
派克密封产品系列，从O形圈到复合密封结构，高纯度全氟橡胶到热塑性弹性体，挤出成型垫片到金属密封，为半导体行业提供完整的密封解决方案。

从智能手机到产业机器人，再到超级计算机，随着应用范围不断增加，半导体行业在蓬勃发展的同时，其制程工艺也不断快速提升。然而，无论工艺如何改进，都离不开盐酸、氢氧化钠溶液、过氧化氢溶液，以及乙醇，丙酮等各类高纯度化学品的使用。

这些高纯度化学品具有强酸、强腐蚀性等特性，在其输送系统原材料的选择上，必须慎之又慎。PFA和PTFE因拥有出色的物化性能而进入人们的视野，它们具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂、耐腐蚀等特点，被视为半导体制程中化学品输送系统的理想材料。

例如，在半导体的CMP工艺中，Slurry输送系统的部件就可选用PFA材质。CMP又称化学机械抛光，它能精确并均匀地把硅片抛光为需要的厚度和平坦度，其中，Slurry供应系统与之关系密切。作为一种特殊的化学研磨液，Slurry是由二氧化硅等微小颗粒悬浮在液体中形成的悬浮液，其供应系统将持续为CMP提供制程所需的化学研磨液，一旦系统出现异常，会对CMP制程造成严重损失。

因此，Slurry输送系统对阀门的选用要求严格。比市场上同类产品相比，派克汉尼汾旗下的 22系列PFA膜阀，能更好地符合用户需求。 派克汉尼汾旗下的22系列PFA膜阀设计巧妙，质量卓越，能够符合半导体制程中化学品、尤其是Slurry输送的不同要求，更少的故障以及更长的产品寿命将为客户带来更多的价值。

除了这些明星展品，还有电爪、空气节省单元等产品也将亮相展会。在此，我们诚挚邀请您莅临参加派克汉尼汾展台，详细了解派克最新的产品技术与解决方案。SEMICON China 2020，让我们不见不散！