如何为半导体应用选择压力传感器?
如何为半导体应用选择压力传感器
半导体行业几乎影响着当今生活的方方面面。您每天使用的手机、计算机、电视、汽车和其他电子设备都依赖于半导体的存在,这些应用需要专业的高纯度设备和仪器来确保安全、高效运行。
压力传感器对于半导体工艺至关重要,如何选择适用于半导体应用的压力传感器?本文将重点介绍半导体应用过程中所涉及的因素,以及是什么造就了一台优秀的压力传感器,以便为您的实际应用选择合适的设备。
半导体工艺
图片
雅斯科的压力测量技术和产品,包括配备CVD传感元件的高纯压力传感器以及使用 Si-Glas? 超薄单晶硅膜片可变电容传感元件的微差压传感器,在诸如气体控制面板,氢气压力检测,以及洁净室关键环境控制等应用领域,为半导体制程和设备提供精确的测量和有效的保障。
半导体应用中压力传感器的关键因素
- 污染控制 -
为了降低成本并提高性能,半导体制造不断面临着增加晶片中电路数量和密度的挑战。为了使电路图案变得越来越小,在半导体工艺过程中需要进行大范围的污染控制,以避免即使是最小的外来颗粒也不会对暴露的晶片表面造成损坏。
- 光滑的表面 -
光滑的表面减少了暴露在使用过程中的表面积,并减少了在安装期间和重复使用后水分或异物粘附在仪器上的机会。
- 优质的材质 -
压力传感器的材料必须与过程介质兼容并具有可靠的质量。高纯度等级的 316L 不锈钢最常用于压力传感器,因为它们具有高耐腐蚀性和抗氢脆性 —— 这些因素会影响压力传感器的长期安全性、可重复性和稳定性。
- 安全认证 -
此外,半导体气体可能易燃易爆有毒,因此必须选择具有防爆认证的压力传感器,以解决至关重要的安全问题。
雅斯科压力传感器
雅斯科ZT/ZX系列高纯压力传感器基于CVD传感元件平台,是超纯应用的专用压力传感器产品,其产品特性包括能适应不同介质的接液元件材质,如316L, A286,Co-Ni 合金等,也包括VCR接头,以及符合规范的表面光洁度和测量精度。每台产品都经过泄漏检测(<5 x 1012 atmcc/s)以及双重包装处理,确保完整性和洁净度。
该产品系列与多种过程气体兼容,并在长期过程测量中表现出较高的稳定性。ZX11超高纯压力变送器具有适用于危险区域的 ATEX 和 IECEX 认证证书。
起始于1852年的Ashcroft(雅斯科)公司,在全球布局制造基地,致力于结合应用需求,为本地客户提供专业的产品与便捷的服务,帮助客户保护流程,保护人员安全,降低使用成本。
- 信德迈科技(北京)有限公司多年来致力于为国内客户提供高端半导体装备元器件,助力芯片OEM制造商。产品包括等离子刻蚀设备 Etcher、物理气相沉积设备 PVD、化学气相沉积设备 CVD、氧化扩散设备 Oxide/Diff、清洗设备 Cleaning Tool、紫外固化设备 UV Cure、PECVD、磁控溅射PVD、LPCVD、RPD反应离子沉积、有机及金属共蒸发设备、离子注入机Ion implanter、单原子层沉积(atomic layer deposition,ALD),又称原子层沉积或原子层外延(atomic layer epitaxy); 涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机Wet etching machine、单片清洗机; 快速退火炉等IC关键装备、扩散炉、刻蚀机、PECVD、高温烧结炉为主的太阳能电池制造装备。PVD(磁控溅射、有机及金属共蒸发、离子镀、RPD反应离子沉积等)、CVD(PECVD、LPCVD等)和ALD原子层沉积
http://www.cnmec.net/app/Semiconductor_parts.htm
- 半导体 Semiconductor_parts
提供卓越精度和最佳性能的精密解决方案 - 晶圆制造Wafer Fabrication; Circuitry Creation电子芯片制造;IC制造、TSV/3D封装、MEMS、晶圆、基片等制造领域。
http://www.cnmec.net/Semiconductor.htm
|