Ashcroft 超高纯压力变送器和压力表

超高纯度（UHP）为何如此重要？

半导体行业的清洁度水平超过医疗和制药行业的10,000倍甚至更多。如此高标准的要求是基于半导体制程的精密性，也是因为制程被污染所造成的损失巨大。实际上某些设备需要多达400个工艺步骤，也增加了被污染的机率。因此，半导体行业使用的超高压气体纯度至少为99.999％。

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全新产品

Ashcroft超高纯压力变送器和压力表

Ashcroft 超高纯压力变送器ZT11和ZT16，以及28mm，50mm和63mm HPX超高纯压力表提供不锈钢结构和接液元件，可实现超净连接，是半导体应用中的工业气体应用的理想选择。

ZT11超高纯压力变送器

精度：±0.25％满量程

量程：真空，联程至300 psi，45 psi至3,000 psi

电气输出：4-20 mA

316L不锈钢电解抛光接液元件

100％氦气泄漏测试

洁净室包装

ZT16超高纯压力变送器

精度：±0.5％或1.0％ 满量程

量程：真空，联程至150 psi，45 psi至150psi

电气输出：4-20 mA，1-5 VDC

316L不锈钢电解抛光接液元件

7 Ra表面光洁度选项

100％氦气泄漏测试

HPX 微型超高纯压力表 – 28mm

精度：±3.0％满量程

压力范围：真空至30 psi / 2 bar

最高至150 psi / 10 bar

VCR内/外螺纹，固定式或可旋转式过程连接

电解抛光316L AOD / VAR不锈钢接液元件

100％氦气泄漏测试

HPX 超高纯压力表 – 50mm/63mm

精度：±1.5％满量程

量程：真空，15 psi至3000 psi

过程连接：固定式，可旋转式

316L不锈钢接液元件

100％氦气泄漏测试

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