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ZL92 含氟聚合物压力传感器 ZL92 超高纯行业压力传感器 ZL92 Fluoropolymer Pressure Transducer
Ashcroft ZL92 是一种压力传感器，设计用于需要含氟聚合物 (PTFE/PFA) 润湿部件的半导体工艺，以提高在腐蚀性气体和流体中使用的化学兼容性。二级隔离膜片和通风口设计将陶瓷传感元件与腐蚀性气体和液体隔离，从而延长了换能器的使用寿命。The Ashcroft ZL92 is a pressure transducer designed for use in semiconductor processes that require fluoropolymer (PTFE/PFA) wetted parts for improved chemical compatibility for use in corrosive gases and fluids. A secondary isolation diaphragm and vent design isolates the ceramic sensing element from corrosive gases and liquids which extends the life span of the transducer.
ZL92 含氟聚合物压力传感器 ZL92 超高纯行业压力传感器 ZL92 Fluoropolymer Pressure Transducer
ZL92 用于需要使用 PTFE/PFA为接液元件的半导体工艺，以提高其在腐蚀性气体和流体中使用的化学兼容性。
精度（端点法）±1.0% 满量程，参考温度为 73°F (23°C)
量程 0-45 psi 或 0-75 psi
管道连接尺寸1/4", 3/8", 1/2"
防护等级 IP54
主要特点：
- PTFE/PFA 接液部件 PTFE/PFA wetted parts
- 耐氢氟酸等化学品腐蚀
- Corrosion resistant to chemicals such as hydrofluoric acid
- 低金属离子洗脱
- Low metal ion elution
- 与 0.25 到 0.5 英寸外径的管道兼容
- 电容传感器具有出色的热稳定性
- 多种安装选项包括管连接、压配合螺母、扩口螺母和螺纹螺母
- 100级洁净室包装和双层袋装
应用：
半导体
清洗设备 平板显示器 (FPD) 清洗设备
湿站
化学品供应系统
Applications:
Cleaning equipment for semiconductor
Cleaning equipment for Flat Panel Displays (FPD)
Wet stations
Chemical supply systems
规格
参考温度
73°F (23°C)
精度
±1.0% 量程 @ 73°F (23°C)。 精度包括线性、滞后和可重复性的影响
输出
1-5 Vdc（3 线）
4-20 mA（2 线）
压力范围
0-45 psi 至 0-75 psi' 为 '0-45 psi 和 0-75 psi
过程连接
管连接尺寸包括：1/4"、3/8"、1/2"
接液材料
PTFE/PFA
非接液材料
聚丙烯和 PTFE/PFA
气密等级
IP54
ZL91 & ZL92 超高纯行业压力传感器
Ashcroft ZL91 和 ZL92 超高纯行业压力传感器是我们半导体产品系列的新成员。两种型号均提供 ±1.0%满量程，参考温度为73°F (23°C) 的精度，多种安装选项，并在 100 级洁净室中组装和包装。
认证和批准
数据表：
数据表 – ZL92 压力传感器
使用说明书：
手册 – ZL92 压力传感器 I&M
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